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Shimadzu TMP-803M岛津磁悬浮分子泵维修,Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 日本岛津磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统,无需使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵,Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 分子泵进气法兰口VG150/ICF203/ISO160B,出气法兰口KF40,抽速可达到800 L/s,转速为35000 rpm, 极限压力1 x 10-11 Torr(1.3 x 10-11 mbar),Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为:Shimadzu EI-D1003M
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