Shimadzu TMP-203LM/LMC岛津磁悬浮分子泵维修，日本岛津TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出气法兰口KF25，抽速可达到190 L/s，转速为50000 rpm，极限压力1 x 10-10 Torr(1.3 x 10-10 mbar)，岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D203M

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