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晶圆光罩架推车是晶圆制造过程中用于存放、搬运光罩(Photomask)的专用设备。光罩是晶圆光刻工艺中至关重要的元件,它用于将图案转移到晶圆表面。由于光罩的高精度和易损性,光罩架推车需要具有良好的抗震、防尘、无污染和易清洁的特性。下面是晶圆光罩架推车的典型加工流程:
1. 需求分析与设计
需求分析:首先,根据光罩的尺寸、重量和搬运需求来确定推车的规格。光罩架推车必须能够承受光罩的重量,并且在搬运过程中提供稳定支撑。设计时还需考虑车轮的移动性、承载能力、锁定功能等。
设计方案:设计师依据需求和工艺要求进行详细设计,包括推车的整体结构、承重部件、轮子配置、连接方式、表面处理方式等。
设计图纸:根据设计方案绘制详细的设计图纸,并进行结构分析,确保推车在使用中的稳定性和耐久性。
2. 原材料采购与检验
材料选择:推车的主要材料通常是不锈钢(如304、316)或者铝合金。选择这些材料是因为它们具有良好的耐腐蚀性、抗氧化性、强度高和易清洁的特点。
采购原材料:根据设计图纸采购所需的板材、型材、车轮、螺丝、紧固件等。
质量检验:在材料入库时,必须进行质量检验,确保原材料没有缺陷,并符合设计要求。检查包括材质检验、尺寸检验以及表面质量检查。
3. 零部件加工
切割与成型:根据设计图纸,将不锈钢或铝合金板材切割成需要的尺寸。切割可以通过激光切割、等离子切割或水刀切割进行,确保切割面平整、光滑。
冲孔与打孔:根据推车设计中的需要,进行冲孔和打孔操作。打孔通常用于安装轮子、支架以及其他固定装置。
折弯与成型:对于需要折弯的部分,使用数控折弯机进行折弯加工,确保折弯角度和精度。推车的框架通常需要折弯加工,以满足设计的外形和结构强度要求。
4. 焊接与组装
焊接:推车的各个部件(如框架、支架等)通过TIG(氩弧焊)或MIG(气体保护焊)进行焊接。焊接操作要特别注意,防止焊接点的污染和表面不平整。
打磨与清理:焊接后,需要对焊缝进行打磨,使表面平整光滑,去除焊接残留物。打磨后的表面需要清洁,确保无任何污染物。
框架组装:通过螺丝、螺母等方式将各个组件(如框架、支撑、车轮等)组装在一起,确保各个部件的稳固性与稳定性。
5. 表面处理与抛光
表面打磨与清洁:推车的所有表面需要通过专业工具进行打磨,去除毛刺、划痕和焊接痕迹。确保表面光滑平整,不会对光罩造成刮伤。
表面抛光:通过机械抛光或化学抛光提升表面光泽度,使其更加光滑。这一步骤有助于提升清洁性,并减少微尘附着。
酸洗与钝化:对于不锈钢材质的推车,通常进行酸洗和钝化处理,以去除表面的氧化物,增强其耐腐蚀性,避免对晶圆或光罩造成污染。
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