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”半导体设备不仅要能做出非常精细的加工,重要的是均匀性、性、重复性、可靠性、洁净性。他指出,等离子体刻蚀已刻出人头直径几千分之一到上万分之一的细孔,孔直径的准确度、均匀性和重复性已可达到头的几万到10万分之一。