意大利BDiscom射频电源S-AMX/S-AMN实物单卖

在以往的蚀刻和沉积等离子体电源实施方案中，虽然围绕射频功率源和匹配网络进行构建，但是仅将射频发生器用于监控和记录输送至等离子体腔的功率的基准。但是，这种方法可能会带来若干问题 – 为了实现更精准、更高水平的功率控制，这些问题甚至会成为新的挑战，其中包括功率波动、温度和配方组合的影响、因功率源与工具之间的距离造成的问题、功率输送的微调能力。

例如，如果功率源与应用点有一定距离，则可能存在较大的插入损耗，从而影响实际提供的功率。理论上，应计算出该损耗并相应调节功率源设置。但实际上，由于特定系统设置，插入损耗不一定表现为线性方式；并且功率等级越高，越难以估算。

另外，如果使用的是旧发生器，工艺可能会因量化误差而受到影响，即功率命令系统提供给用户的固定步进功率不一定匹配腔体所需的精准的功率输送。

上述因素正是半导体制造商致力于采用校准设备的原因 , 为了精准监控等离子体电源。很明显，过去几十年的传统功率传感技术越来越难以提供最新工艺所需的功能（频段或功率范围、准确度等级或认证）。因此，我们迫切需要新一代更精准的高度集成射频功率测量和校准系统。

SICK   IME08-02BNSZW2K
Balluff  BTL7-S577-M0360-B-KA05
Danfoss 3241-1DB04
AI-TEK  70085-1010-131
Balluff   BTL7-V50T-M0300-B-C003
POCLAIN  MS08-2-111-F09-2A50-1E00
 HENGSTLER  0547897
EUCHNER    门锁开关TZIRE024PG VAB升级为TZ1RE024MVAB
IFM   IIC208
Euchner  NO1R-550型（带滚轮）无感应式限位开关
IPF   接近开关IN800151
Rexroth  TYP:A4FM22/32W-NSC02
MOOG  D634U524A/R40K2F0NSS2
DESTACO   8EA-030-1
IPF    传感器 IB1201T1
DOLD  LG5925 48/61-Not-Aus-Modu-Emergency-stop module .A1(+)A2 AC/DC 24V -常开AC15/230V/3A-常闭AC15/230V/2A
STI    DT-S01S1S0
RHM1430MK101S1B8100
BUCHER    减压阀SDRB-AR-6-SL  10-65 BAR
SUN    MBGALHN-HCY/S
IFM     光电开关IF-3004-APKG/6m 报价型号IF5350
BD  压力传感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Sampo  BB4040801110马达
RHM0500MK101S1B8100
Rittal   加热器SK 3105.340
HYDAC   压力开关EDS3446- 3-0250-000  带配套电缆2米及插头
BAUER    电机BG30-37/DHE09XA4C-TOF-K/BR-UL-TM
ASCO  SCE238D005 220V
RHM1160OMK021S1G6100
DEMAG        进口力矩电动机 SBS 140 B4 18N·m 380V
Honeywell  DC1020PL-302000-C
Rexroth  R900580381 PV7-1A/10-14RE01MC0-16
 PIZZATO pulsSLR10输出：24vdc/10A
MTS   RFM02750MR021A01我们的型号：ZHRX2750SEC3-GF21DZ
ALLWEILER   油泵NTT150-400/02U5A-W4
RELECO   继电器底座S9-M
Rittal  母牌接线器SV3456.500
RHM1720MK021S1G6100
TWK 电子式接触器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
KNOLL科诺  过滤纸PW70/70-710
DESTACO迪斯泰克   8EA-123-1 感应器
TWK  SWH2-01+CRF58*V146*C01
SICK  障碍物传感器TIM320-1031000
PIZZTO  FD1878
RELECO    S9-M
ECKARDT   定位器SRD991-BHNS7EA4NR-V01
Honeywell RA890G1229
parker    阀026-95689-H    R5V12  695 36 09G0Q A1 210
MOOG    G771K202A
VERSA  EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
MTS RHM0150MP021S1G8100  160mm 要求精度0.0001mm
KROM   GIK 15R02-5BZ
DUNGS  煤气电磁阀-MVD 215/5 RP11/2 60VA
RHM0610MP101S1G8100
RHM1800MP101S1G6100
ASCO   8210G034  24VDC
RHM1330MP101S1G8100
SOR  205A-A1B-B-B4-N4-ET
EGE   风压开关STS215S   31308
AMISCO  EVI7/9电磁阀线圈
PILZ   PNOZ s4 C 24VDC 3 n/o 1 n/c
VICKERS  C16H220/19
SOLARTRON  AS/100/G
ABB  变频器ACS880-01-145A-3+D150
Kobold   流量开关VKM3211RRR250B  24VDC
HYDAC    压力控制器EDS3446-3-0250-000   250bar DC24V
NORIS  10732 RF502-A2-#7000
GEMU   气动阀690-32D 71 412/N
德国Krom schroder    点火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2  已停产，升级型号 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
CEAG   CEAG GHG 591 2201 R0003报价型号 GHG5912201R0003 Ex-Plug for Zone 1/21, 10, 21-pole 250 V, 7 h, 1 cable gland
STAHL   接触器8510/141-03-603-210   6A  24VDC升级为8510/141-03-606-210, Mat. 145751
Dynisco  TPT4634-35MPA-6/18
burkert   电磁阀订货号：00134345已经停产了 221871
MTS  RHM0450MP101S1G6100
DOLD  订货号0063989 BG5924.48 24VDC
MTS  位移传感器
Burster  压力传感器8524-5500-S000S000
Rexroth力士乐   HMS01.1N-W0054-A-07-NNNN 驱动模块报价订货号R911295325，请跟用户核实，如果订货号不对，价格作废
Danfoss丹佛斯 FC360变频器0. .55KW FC360HK55T4E20H2BXCDXXSXXXXAOBX
MTS   EPS0270MD601AO
MTS  RPM1500MD601A01磁环
HYDAC  WSM60020Z-01-C-N-24DG
SCHENCK   测速传感器 FGA 20 RSLE
Rexroth   叠加式溢流阀Z2DB10VD2-4X/200
RHM0280MK101S1B8100
WOERNER     液位开关KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
SICK   光电开关WF2-40B410
SCANCON   旋转编码器SAG-S101G-1213-C100-CRW 电压范围：24V停产替代为31993 OCD-S1-01-G-12-13-C-100-CRW
HYDAC   6051764/100LA4/B34C200
Lika  编码器SMSR-V-1-K-L0,3/S727
Weidmuller   继电器RCL424024
Krom 点火控制器 TGI7.5-12/100W 230VAC
HYDAC   联轴节KUPPLUNG28/38-38/24
Dynisco          TPT463E-35MPA-6-18-TC2
LINCOLN林肯   超声波液位传感器 BPU1-V375-L800-200
OPRU  ORCUT ES 120-MBV
MAC  电磁阀MAC 55B-24-PE-614JB PED-614JB
Hanovia  130027-2001-C
 PIZZATO pulsdimensionUB10.241DC-UPS