深圳市玥祥隆科技有限公司生产的硅溶胶抛光液产品特点如下：

1.分散性好、不结晶 。2.粒径分布广泛：5-100nm。3.高纯度(Cu2+含量小于50 ppb)，有效减小对电子类产品的沾污。

4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液，纳米颗粒呈球形，单分散，大小均匀，粒径分布窄，可获得高质量的抛光精度。5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。

6.PH、粒径、稳定离子等可以根据客户定制(10-150 nm)


应用领域
硅片、硬盘基片、二氧化硅、蓝宝石、精密光学器件等的抛光。
 

抛光过程中具有：

1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。（可以生产150 nm）。

2.高平坦度加工，本品抛光是利用SiO2的胶体粒子，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。

 

抛光过程后具有：

1.精度可以达到埃级

2.划伤和挖伤可以达到0/0

抛光液物性表
主要成分： 外观： 密度： pH值：
SiO2 白色液体 1.15±0.05 9.8±0.5
抛光温度： 稀释率＜1： 抛光压力：  
10～38℃ 1～10 150～250g／cm＆sup2  

使用方法：

1.可根据抛光操作条件用去离子水进行5-20倍稀释。

2.稀释后，粗抛时调节PH至11左右，精抛时调节PH至9.5左右。

3.循环抛光可以用原液。

 

储存方法：

1.贮存时应避免曝晒，贮存温度为5-35℃

2.低于0℃以上储存，防止结冰，在零度以下因产生不可再分散结块而失效。

3.避免敞口长期与空气接触。