在温度大于零的所有气体中，均存在一定的电离现象。任何细微的射线及其他能量都可能使气体中的分子被加速而获取能量，当其能量高于气体的电离能时，电子与分子间的碰撞将导致该气体的电离。

离子净化技术正是基于这种理论进行研发的。在电场作用下，离子发生器产生大量的α粒子，α粒子与空气中的氧分子进行碰撞而形成正、负氧离子。正氧离子具有很强的氧化性，能在较短的时间内氧化、分解甲硫醇、氨、硫化氢等污染因子，且在与VOC(挥发性有机化合物)分子相接触后打开有机挥发性气体的化学键，经过一系列的反应，生成二氧化碳和水等稳定无害的小分子。同时，氧离子能破坏空气中细菌的生存环境，降低室内空间细菌浓度，带电离子可以吸附大于自身重量几十倍的悬浮颗粒，靠自重沉降下来，从而清除空中悬浮胶体，达到净化空气的目的。

等离子法废气处理系统成主要由主反应器，光触媒反应导入装置等组成。废气经过收集系统收集后进入离子催化氧化废气处理合成系统，离子反应导入装置对主反应器产生离子，在其内部的价电子被激发跨过禁带跃入导带，生成的电子空穴被导入主反应器内，并扩散到反应器内过滤板的二氧化钛表面上，穿过界面与吸附在过滤板上的物质发生氧化还原反应。其空穴能量7.5eV，氧化电位+3.0V，具有较强的氧化能力，能够氧化有机化合物，达完全矿化的程度，生成二氧化碳、水和无机物。以氧化作为氧化剂，它几乎毫无选择对废气中大量有机污染组分进行氧化分解，且整个分解过程很快，只需要短暂的停留时间即可以分解掉有机污染组分，该处理设备可谓处理工艺的核心部分，正常运行情况下除臭效率可达90%，能处理多种臭气组成的混合气体。另外，借助离子体中的离子与物体的凝并作用，可以对小至亚微米级的细微粒物（0.1～3微米）进行有效收集。