有机废气或恶臭气体经过去尘增湿或降温等预处理后，废气穿过由滤料组成的滤床，废气从气相进去液相，被附着于滤料的微生物用于代谢，使废气成分被吸收分解，分解最终产物为二氧化碳和水，实现有机废气、恶臭废气的净化。生物滤池技术治理废气净化效率达到90%，适用于中、低浓度有机废气和恶臭废气治理。

生物净化过程的实质是附着在滤料介质中的微生物在适宜的环境条件下，利用废气中的有机成分作为碳源和能源，维持其生命活动，并将有机物分解成CO2、H2O的过程。气相主体中VOCs首先经历由气相到固相或液相的传质过程，然后才在固相或液相中被微生物分解。

微生物能将有机物氧化成二氧化碳和水等物质但此过程很难在气相中进行，因而净化有机废气的过程大多是在液相中完成的。生物法的净化原理为以生物膜为有效吸附表面，以活菌体为生物反应活化中心的的吸附—生物化学反应过程，微生物对废气的净化过程主要分为传质和生物降解两部分。

生物滤池工艺一般分好氧及生物过滤两段，前段以生物氧化为主，吸附截留为辅，后段吸附截留为主，生物氧化为辅，存在生化效率低，因为只有好氧生化反应，对于难生化物质有机降解效果将大打折扣，废气先通过增湿塔增湿然后从反应器下部进入通过附着在填料上的微生物而将有机废气降解。