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旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的,里面装有静止不动的磁体,以慢速转动。
溅射靶材用于磁控溅射镀膜,溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜(PVD)方式。
在被溅射的靶ji(阴ji)与阳ji之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气),在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子, 靶上加有一定的负高压,从靶ji发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴ji附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面, 以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。
溅射靶材用途主要在太阳能电池,建筑玻璃,汽车玻璃,半导体,平板电视等。
洛阳高新四丰电子材料有限公司是一家从事TFT-LCD/AMOLED、半导体IC制造用高纯溅射靶材——高纯钼/铜/钛等系列产品的研发、生产、销售的高新技术企业。溅射靶材产品主要有TFT-LCD/AMOLED、半导体IC及光伏太阳能制造用高纯钼及钼合金、铜、钛、钨等平面靶材和旋转管靶等金属靶材。此外,公司生产的钨钼深加工制品、钨合金薄板和军工用钨合金、TZM板棒材、精加工钨钼零件等超高温特种功能材料广泛应用于单晶炉、钢铁、医疗、军工等行业。欢迎大家咨询选购。
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