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第一代单片机始于1976年，以INTEL 公司的MCS-48系列为代表，其特点是采用专门的结构设计，在单片机内部集成了8位CPU、并行1/O、8位定时/计数器、RAM及ROM等寻址范围和存储器容量较小。第二代单片机以INTEL 公司的MCS-51系列为代表，与第一代相比，完善了外部总线，确立了单片机的控制功能。片内RAM和ROM容量增大，有的片内还带有A/D外设。目前，MCS-51已经成为公认的经典机种，真正开创了单片机作为微控制器的发展道路。第三代单片机的典型产品有INTEL 的MCS-96系列、T1公司的TMS9900系列等，进一步增大了片内RAM和ROM,带有高速输入/输出部件、多通道10位A/D转换部件，允许用户采用面向工业控制的专用语言等。