详细介绍: 应用领域
GKS系列扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺,同时也用于石英制品的退火、稀有金属粉末和发光材料的煅烧等工艺。
主要特点
* 采用高纯石英管作为内炉膛,具有优良的洁净度。
技术参数
设备型号:
|
GKS(D)-09/90/3
|
GKS(D)-18/110/3
|
GKS(S)-09/90/3
|
GKS(S)-18/110/3
|
最高温度:
|
1050℃
|
1050℃
|
1050℃
|
1050℃
|
使用温度:
|
RT~1000℃
|
RT~1000℃
|
RT~1000℃
|
RT~1000℃
|
控制精度:
|
±1℃
|
±1℃
|
±1℃
|
±1℃
|
温区个数:
|
3个
|
3个
|
6个
|
6个
|
炉管材质:
|
高纯石英
|
高纯石英
|
高纯石英
|
高纯石英
|
发热元件:
|
Kanthal电阻丝
|
Kanthal电阻丝
|
Kanthal电阻丝
|
Kanthal电阻丝
|
加热区长度:
|
900mm
|
1100mm
|
900mm
|
1100mm
|
炉管尺寸:
|
Ф90×1800
|
Ф180×2100
|
Ф90×1800
|
Ф180×2100
|
加热功率:
|
7.5Kw
|
15Kw
|
15Kw
|
30Kw
|
|