产品价格:0000 元(人民币) 上架日期:2016年11月29日 产地:山东青岛 发货地:青岛 (发货期:当天内发货) 供应数量:不限 最少起订:1台 浏览量:164 暂无相关下载 其他资料下载:
简要说明:
程控扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统组成。选用工控机微控方式或程控方式操作。