产品价格:10000 元(人民币) 上架日期:2014年10月30日 产地:青岛 发货地:青岛 (发货期:当天内发货) 供应数量:不限 最少起订:1台 浏览量:54 暂无相关下载 其他资料下载:
简要说明:
产品应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~8英寸工艺尺寸 产品特点: ◆主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺 ◆工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 ◆采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等 ◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性 ◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用质量流量计(MFC)进口 ◆控温精度高,温区控温稳定性好; ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 ◆高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命