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专业制造福润德牌扩散炉放大图片

产品价格:10万   元(人民币)
上架日期:2014年8月15日
产地:山东青岛
发货地:山东青岛  (发货期:当天内发货)
供应数量:不限
最少起订:1台
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青岛福润德微电子设备有限公司

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  详细说明  
品牌:福润德产地:山东青岛
价格:10万人民币/台规格:完善

简要说明:福润德牌的扩散炉产品:估价:10万,规格:完善,产品系列编号:齐全

详细介绍:

  扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。 扩散炉技术指标: t可处理硅片尺寸:212英寸 t外型形式:卧式14管结构 t工作温度:200℃1300℃ t恒温区长度及精度:200mm1100mm≤±0.5℃ t单点温度稳定性、重复性: ≤±1℃/24h t温度斜变: 可控升温速率15℃/min t可控降温速率: 5℃/min t送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟 t气路系统:15路工艺气体/管 t气体控制:全自动MFC t控制方式:工控机、触摸屏


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