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洁净室的空气洁净度的三种状态：
●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。
●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。
洁净室的气流流型：
●单向流……沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
●非单向流……凡不符合单向流定义的气流。
洁净室定义……洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等的污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
 

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