简要说明：硅材料专用烘箱的原理是根据硅的半导体电学性质和硅材料具有耐高压、反向漏电流小、热传导好能在200高温下运行等特点而研发的适用型烘箱。

硅材料专用烘箱的原理是根据硅的半导体电学性质和硅材料具有耐高压、反向漏电流小、热传导好能在200高温下运行等特点而研发的适用型烘箱。

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