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- 最多可以同时测量8个点
- 可以从ppm级别到100%的广泛浓度表示。
- 最适合安装在半导体制造装置、真空装置等上
- 传感器为直插式(真空NW法兰16/25/40)
- 对高耐久的传感器施以特殊涂层，进一步提高耐久性
TORAY东丽 氧气浓度计 半导体、液晶、电子零部件相关应用MS-500
发布者：13024103468 发布时间：2024-03-06 15:30:58 访问次数：88
TORAY东丽 氧气浓度计 半导体、液晶、电子零部件相关应用
氧气浓度计MS-500
MS-500机器规格
| 测量原理 | 氧化锆浓淡电池 | ||
|---|---|---|---|
| 形状 | 分离式(转换器:壁挂式，传感器:直插式) | ||
| 显示方式 | 数字4位表示(浓度表示) | ||
| 测量微波炉 |
0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O210-20~ 10-0atm 自动微波炉 |
||
| 反复性 |
±0.5%FS以内0-1%范围以上 大于±1%FS或±0.1ppm，小于0-1%范围 0-1ppm,atm微波炉不在浓度保证范围内 |
||
| 测定分数 | 1 ~ 8 | ||
| 气体采样条件 | 压力 | 10- 3~ 200kpa(绝对压) | |
| 流量 | 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定) | ||
| 湿度 | 露点低于周围温度 | ||
| 温度 | 0 ~ 100℃ | ||
| 其他 | 不含腐蚀性气体(氟类气体、氯类气体、硫化类气体等)、含有机硅的气体、可燃成分(也包括气体)、油分、水分 | ||
| 比较气体 | 大气 | ||
| 记录计输出 | 只有传输输出 | ||
| 传输输出 | rs-232c | ||
| 警报输出 | 没有 | ||
| 热身时间 | 六分钟以内 | ||
| 尺寸 | MS-500控制器 | 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) | |
| MS-510(変換機) | 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) | ||
| 传感器单元 | sd16nw | 全长100 mm(センシング部Φ11×39,躯体部Φ40×51岁) | |
| sd25nw | 全长100 mm(センシング部Φ11×42,躯体部Φ40×48岁) | ||
| sd40nw | 全长100 mm(センシング部Φ11×41,躯体部Φ40×49岁) | ||
| 质量 | MS-500控制器 | 约0.6公斤 | |
| MS-510(変換器) | 约0.5 kg | ||
| 传感器单元 | sd16nw | 约0.2公斤 | |
| sd25nw | 约0.2公斤 | ||
| sd40nw | 约0.35公斤 | ||
| 外部连接 | 真空法兰(NW16,25,40)中的一种 | ||
| 使用電源 | 24 vdc±10% | ||
更多详情咨询：13024103468 刘经理
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