臭氧发生器，按照气体原料划分，有氧气源和空气源两种，氧气型通常是由氧气瓶或者制氧机供应氧气。空气型通常使用空气（如压缩空气）作为原料。由于臭氧是靠氧气产生的，而空气中的氧气含量只有21%，所有空气型臭氧产生的臭氧浓度比较低，同时还会产生衍生氮化物，而瓶装或者制氧机的氧气纯度都有90%以上，所以氧气型发生器的臭氧浓度高。在空气消毒时，通常使用空气型发生器，在水处理时，应优先考虑氧气型臭氧发生器。